描述:
CC-200/400是一款緊湊且易于使用的研發和生產系統。
特性:
27.12MHz的高密度等離子體工藝
支持SiH4(SiO2,SiNx,SiON,a-Si)和TEOS(SiO2)的沉積。
通過CF4 + O2等離子體維持腔室清潔。
支持用于有機EL低溫沉積的加熱器。
支持各種基材尺寸。
C系列中間接順序處理的真空啟用盒(濺射:CS-200,蒸發:CV-200)。
應用:
電源設備
LED,LD和高速器件的化合物相關器件
研發用有機EL系統
研發用太陽能電池系統
微機電系統(MEMS)
描述:
CC-200/400是一款緊湊且易于使用的研發和生產系統。
特性:
27.12MHz的高密度等離子體工藝
支持SiH4(SiO2,SiNx,SiON,a-Si)和TEOS(SiO2)的沉積。
通過CF4 + O2等離子體維持腔室清潔。
支持用于有機EL低溫沉積的加熱器。
支持各種基材尺寸。
C系列中間接順序處理的真空啟用盒(濺射:CS-200,蒸發:CV-200)。
應用:
電源設備
LED,LD和高速器件的化合物相關器件
研發用有機EL系統
研發用太陽能電池系統
微機電系統(MEMS)