負載鎖定式等離子CVD系統CC-200/400

      描述：

      CC-200/400是一款緊湊且易于使用的研發和生產系統。

      特性：

      27.12MHz的高密度等離子體工藝

      支持SiH4（SiO2，SiNx，SiON，a-Si）和TEOS（SiO2）的沉積。

      通過CF4 + O2等離子體維持腔室清潔。

      支持用于有機EL低溫沉積的加熱器。

      支持各種基材尺寸。

      C系列中間接順序處理的真空啟用盒（濺射：CS-200，蒸發：CV-200）。

      應用：

      電源設備

      LED，LD和高速器件的化合物相關器件

      研發用有機EL系統

      研發用太陽能電池系統

      微機電系統（MEMS）